El procesamiento de plasma es una tecnología de procesamiento de materiales basada en plasma que tiene como objetivo modificar las propiedades químicas y físicas de una superficie. [1]
Las técnicas de procesamiento de plasma incluyen:
- Activación del plasma
- Incineración de plasma
- Limpieza con plasma
- Oxidación electrolítica de plasma
- Grabado de plasma
- Funcionalización del plasma
- Polimerización de plasma
- Tratamiento de Corona
- Modificación del plasma
Los temas relacionados son la química del plasma , la deposición química de vapor y los procesos de deposición física de vapor como la deposición catódica , la dopaje iónica de plasma, la pulverización de plasma al vacío y el grabado de iones reactivos .