Ventana de proceso

La ventana de proceso es un gráfico que muestra un rango de parámetros para un proceso de fabricación específico que produce un resultado definido. Normalmente, se representan varios parámetros en dicho gráfico, con una región central donde el proceso se comporta correctamente, mientras que los límites exteriores definen las regiones donde el proceso se vuelve inestable o arroja un resultado desfavorable. Además, se realiza una evaluación estadística del rendimiento del proceso mediante el cálculo del Índice de Ventana de Proceso asociado .

Las aplicaciones típicas se encuentran en la fotolitografía ^{[ 1 ]} donde la respuesta de una fotorresina a parámetros como la temperatura, la intensidad de la radiación, la dimensión crítica y el ángulo de la pared lateral de las estructuras, etc., se grafican en función de un parámetro óptico como la apertura numérica para optimizar el diseño de una herramienta de exposición o para lograr un resultado reproducible y un alto rendimiento.