Monitoreo del control de procesos

En la aplicación de circuitos integrados , el monitoreo de control de procesos ( PCM ) ^{[ 1 ]} es el procedimiento que se sigue para obtener información detallada sobre el proceso utilizado.

La monitorización del comportamiento del proceso (PCM) se asocia con el diseño y la fabricación de estructuras especiales que permiten monitorizar parámetros específicos de la tecnología, como Vth _en CMOS y Vbe _en transistores bipolares. Estas estructuras se colocan en ubicaciones específicas de la oblea, junto con el chip producido, para poder analizar con mayor detalle la variación del proceso.