Litografía blanda multicapa

La litografía blanda multicapa ( MSL ) es un proceso de fabricación en el que se moldean cámaras, canales, válvulas y vías microscópicas dentro de capas unidas de elastómero . ^{[ 1 ]}

Los moldes comerciales de PDMS pueden moldear materiales como adhesivos ópticos en un proceso secuencial para crear las capas unidas.

Véase también

litografía blanda

Referencias

↑ Unger, Marc A.; Chou, Hou-Pu; Thorsen, Todd; Scherer, Axel; Quake, Stephen R. (2000-04-07). "Válvulas y bombas microfabricadas monolíticas mediante litografía blanda multicapa" . Science . 288 (5463): 113– 116. Bibcode : 2000Sci...288..113U . doi : 10.1126/science.288.5463.113 . ISSN 0036-8075 . PMID 10753110 .

[1] Unger, Marc A.; Chou, Hou-Pu; Thorsen, Todd; Scherer, Axel; Quake, Stephen R. (2000-04-07). "Válvulas y bombas microfabricadas monolíticas mediante litografía blanda multicapa" . Science . 288 (5463): 113– 116. Bibcode : 2000Sci...288..113U . doi : 10.1126/science.288.5463.113 . ISSN 0036-8075 . PMID 10753110 .

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