Sistemas microoptomecánicos

Los sistemas microoptomecánicos ( MOMS ), también escritos como sistemas microoptomecánicos , son una clase especial de sistemas microelectromecánicos (MEMS) que utilizan componentes ópticos y mecánicos, pero no electrónicos.

• Sistemas microoptoelectromecánicos (MOEMS)
• Sistemas nanoelectromecánicos (NEMS)