Variación de enfoque

La variación de enfoque es un método utilizado para mejorar la nitidez de las imágenes y medir irregularidades superficiales mediante óptica con profundidad de campo limitada . ^{[ 1 ]}

El algoritmo funciona de la siguiente manera:

1. En primer lugar, se capturan imágenes con diferentes enfoques. Esto se logra moviendo la muestra o los elementos ópticos entre sí.
2. Luego, para cada posición se calcula el foco sobre cada plano.
3. El plano con el mejor enfoque se utiliza para obtener una imagen nítida. La profundidad correspondiente proporciona la profundidad en esta posición.

La variación de enfoque requiere una óptica con muy poca profundidad de campo . Esto se puede lograr utilizando una óptica similar a la de un microscopio y un objetivo de microscopio. Estos objetivos tienen una alta apertura numérica , lo que proporciona una profundidad de campo reducida.

El uso de este método es para metrología óptica de superficies y máquinas de medición de coordenadas . Esto significa medir la forma, la ondulación y la rugosidad en muestras. ^{[ 2 ]} Con componentes de hardware y software optimizados, se puede alcanzar una resolución lateral de 500  nm (limitada por la longitud de onda de la luz) y una resolución vertical de varios nm.

Ventajas:

• Se puede utilizar en muestras con flancos pronunciados. Esto se debe a que se puede usar una luz anular para ampliar la apertura de iluminación.
• Muy insensible a las vibraciones.
• Puede proporcionar información de color
• Puede medir en superficies rugosas y lisas.

Desventajas:

• La variación de enfoque normal no se puede utilizar si la superficie de la muestra no presenta estructura en la imagen. Esto significa que no se puede utilizar para obleas ni vidrio. La variación de enfoque según la norma ISO 25178-606 también permite medir superficies lisas.

El comité ISO está trabajando en una nueva serie de normas ISO, denominada ISO 25178. Este documento, compuesto por seis partes, describe los métodos disponibles para la medición de la rugosidad . La variación del enfoque es uno de los métodos descritos.

• Aspereza
• Metrología de superficies