Articulo de referencia

Unidad de filtro de ventilador

Rejilla de techo filtrante de una sala limpia para la fabricación de microelectrónica (semiconductores) con unidades de ventilador de filtro instaladas. Una unidad de filtro de ...

Rejilla de techo filtrante de una sala limpia para la fabricación de microelectrónica (semiconductores) con unidades de ventilador de filtro instaladas.

Una unidad de filtro de ventilador ( FFU ) es un tipo de equipo motorizado de filtración de aire . Se utiliza para suministrar aire purificado a salas blancas , laboratorios , instalaciones médicas o microambientes, eliminando las partículas en suspensión del aire recirculado. [ 1 ] Las unidades se instalan en la rejilla del techo o del suelo del sistema. Las salas blancas grandes requieren un número proporcionalmente grande de FFU, que en algunos casos puede oscilar entre varios cientos y varios miles. [ 1 ] [ 2 ] Las unidades suelen contener su propio prefiltro, filtro HEPA y distribución de aire del ventilador con control interno. [ 3 ]

Diseño

Las FFU se fabrican típicamente en carcasas de acero de 4' x 2', 3' x 2' o 2' x 2', que se pueden colocar en bahías de rejilla de techo de dimensiones similares. [ 2 ] Las unidades a menudo contienen un prefiltro así como un filtro HEPA (aire de partículas de alta eficiencia), ULPA (aire de partículas ultrabajas) u otro filtro MERV (valor de informe de eficiencia mínima). Se utiliza un ventilador motorizado para aspirar el aire a través de los filtros para distribuirlo a habitaciones o estaciones de trabajo cerradas como campanas extractoras. [ 3 ] La velocidad del ventilador generalmente se controla mediante un ajuste del motor por pasos o reóstato . [ 2 ] [ 3 ] Los niveles de limpieza deseados determinan el filtro utilizado: los filtros HEPA eliminan partículas de 0,3  μm o más grandes con una eficiencia del 99,99%, mientras que los filtros ULPA eliminan partículas de 0,12  μm o más grandes con una eficiencia del 99,999%. [ 3 ] Las unidades de filtración de aire (FFU) están diseñadas para un flujo de aire laminar, como se requiere en entornos críticos. El aire controlado que fluye en una dirección y velocidad uniformes (transportando micropartículas) es más limpio que el aire turbulento que fluye en múltiples direcciones o a velocidades inconsistentes. Los remolinos creados por el aire turbulento hacen que las micropartículas contaminantes se depositen en superficies limpias.

Usos

Las unidades de filtro de ventilador (FFU) de 4' x 2' o 2' x 2' están diseñadas para colocarse en bahías de rejilla de techo con dimensiones similares. [ 3 ] Las rejillas de techo con bahías de tamaño estándar que coinciden con las dimensiones de las FFU se utilizan para construir salas blancas. Según los requisitos de limpieza del espacio controlado, se pueden agregar más unidades de filtro de ventilador a la rejilla para cumplir con las normas ISO de velocidad del flujo de aire y renovaciones de aire por hora. [ 4 ]

Las FFU se pueden usar en lugar de una unidad de recirculación de aire más convencional, como un sistema de aire con conductos o plenum. [ 1 ] [ 2 ] Como las FFU requieren espacio por encima de la rejilla del techo (13" para el módulo FFU más otros 1-2 pies de espacio "vacío" lleno de aire), los plenums se usan comúnmente para salas limpias con restricciones de altura; son los únicos sistemas de aire que funcionan en diseños con dimensiones de piso internas más pequeñas. [ 2 ] Además, cuando se instalan menos de 20 filtros en una sala, una FFU HEPA con ventilador generalmente se considera menos costosa que un sistema de suministro con conductos más convencional. [ 5 ]

Cuando se requiere un microambiente de aire limpio, las unidades de flujo continuo (UFC) se pueden utilizar para construir espacios de trabajo cerrados o cabinas de flujo laminar. Aplicando el mismo principio que la rejilla de sala limpia más grande, las UFC se pueden colocar directamente en una rejilla independiente sobre el espacio que requiere aire limpio. De hecho, este método también se utiliza para el grabado de obleas de silicio en la industria de semiconductores. [ 6 ]

Referencias

  1. 1 2 3 Kohli, Rajiv; Mittal, Kashmiri L. (2009). Avances en la contaminación y limpieza de superficies: deposición, control y eliminación de partículas . William Andrew. pág.  164. ISBN 978-1-4377-7830-4.
  2. 1 2 3 4 5 Xu, Tengfang; Lan, Chao-Ho; Jeng, Ming-Shan (junio de 2007). "Rendimiento de grandes unidades de ventilador-filtro para aplicaciones en salas limpias". Building and Environment . 42 (6): 2299– 2304. Bibcode : 2007BuEnv..42.2299X . doi : 10.1016/j.buildenv.2006.05.007 .
  3. 1 2 3 4 5 Pennwell (marzo de 2007). CleanRooms . Vol. 21. págs. 16–17 . ISSN 1043-8017 . Recuperado el 26 de octubre de 2011 .   
  4. Schneider, Raymond K (2001). Diseño de sistemas HVAC para salas limpias (PDF) . ASHRAE Journal. Archivado del original (PDF) el 28-10-2016 . Recuperado el 22-08-2001 .
  5. Pennwell (marzo de 2008). CleanRooms . Vol. 22. pág. 36. ISSN 1043-8017 . Consultado el 26 de octubre de 2011 .   
  6. Park, Jae Yong; Kim, Han-Mil; Song, Jong Kook; Cho, Won-Ho; Rho, Eun Su; Archer, Leo (mayo de 2007). "Proceso de oblea única para una limpieza mejorada de los orificios de contacto metálico". Solid State Technology . 50 (5): 50– 53. Gale A165311824 . 
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